Edwards

Каталог продукции в pdf: смотреть

В 1919 году Ф.Д. Эдвардс с женой основал компанию в Камберуэлл в Южном Лондоне. В настоящее время компания «Edwards» является мировым лидером в создании вакуумного оборудования, которое используется в самых передовых технологиях при производстве полупроводниковых приборов, плоских дисплеев, солнечных батарей, светодиодов, аналитического оборудования, имитаторов космического пространства. Вакуумная техника «Edwards» и её инновационные технологии позволили реализовать передовые идеи в химической, фармацевтической и металлургической промышленности, а также в смежных с ними областях.

«Edwards» насчитывает более 3000 сотрудников, работающих в более чем 60-ти странах мира. Около 60% от товарооборота всей компании составляет продукция, произведённая в Азии (Корея, Япония, Китай и Тайвань).

Atlas Abatement - Оборудование для контроля загрязнения воздуха.

Эта продукция предназначена для крупных производителей оборудования, предприятий по производству полупроводников и разработана с учетом конкретных требований существующих сегодня и в ближайшей перспективе.

Предлагаемые компанией решения увеличат время безотказной работы, производительность, пропускную способность, а также соответствуют требованиям безопасности. Позволяют сбалансировать часто противоречивые требования к более низкой стоимости владения (за счет сокращения выбросов в окружающую среду) и увеличения срока службы оборудования с сокращением текущих затрат на обслуживание.

image002.jpg

    

EPX Dry Pumps - Серия сухих вакуумных насосов EPX.

 

Сухие вакуумные насосы EPX обладают высокой производительностью, в более легком и компактном корпусе, при этом потребляют всего 1,4 киловатта электроэнергии. Используя уникальный запатентованный одновальный регенеративный/ступенчатый механизм «Holweck®», насосы EPX способны откачивать атмосферные газы создавая вакуум предельно низкого давления < 7 x 10-7 Торр.

Насосы могут устанавливаться в помещениях класса чистоты ISO5. Область применения данной серии: - полупроводниковая промышленность, от устройств загрузки-выгрузки и шлюзовых камер до технологических процессов напыления, плазменного удаления фоторезиста, плазменного травления диэлектрических и поликремниевых слоев, ионной имплантации, а также в других научно-исследовательских целях.

Особенности:

- Максимальная компактность вакуумной системы для производителей технологического оборудования;

- Полное отсутствие возможности загрязнения откачиваемого объема обеспечивается вследствие отсутствия в насосах данной серии элементов требующих жидкой смазки;

- Наличие встроенной функции «спящий режим» обеспечивает максимальное энергосбережение.

Управление:

- посредством встроенного модуля с дисплеем (E - модель);

- с основного технологического оборудования посредством интерфейсного модуля;

- через интерфейсное подключение Ethernet.

Время наработки на отказ - не менее 13 лет, это максимально экономичная модель для подобного рода устройств.

ОБЩИЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ СЕРИИ EPX

- Уровень шума: не больше 55 - 56 дБ

- Максимальная производительность: 3000 л/мин

- Вес: 43,5 - 47 кг

- Мощность: 1,3 - 2,4 кВт

image004.jpg

 

МОДЕЛЬ

ПРОИЗВОДИТЕЛЬНОСТЬ М3/ЧАС (Л/C)

ПРЕДЕЛЬНЫЙ ВАКУУМ ПА (ТОРР)

ПРОДУВКА (Л/МИН)

EPX180L

175 (48,6)

<1*10-2 (7,0*10-5)

-

EPX180N

25

EPX500L

500 (138,8)

<1*10-4 (7,0*10-7)

-

EPX500N

25

◘ Сухой насос серии IPUP2

image006.jpg

Компактный, с низким потреблением энергии сухой насос IPUP2, производительность - 180 м3/ч. Пригоден для работы на производстве электронных панелей и других чистых производствах. Быстрая откачка камер блокировки нагрузки с низким потреблением энергии.

 

◘ Высокоэффективные сухие вакуумные насосы серии iXL

 

Семейство сухих вакуумных насосов серии iXL перекрывает весь диапазон вакуумных объемов сухой откачки, востребованный в секторах рынка по производству плоских панелей (FPD), полупроводников и солнечных панелей, в возобновляемой энергетике.

Насосы данной серии с высокими эксплуатационными характеристиками имеют минимальные размеры и наиболее низкое энергопотребление по сравнению с другими аналогами. Эти вакуумные насосы относятся к пятому поколению систем откачки «Edwards» и оснащены встроенной интеллектуальной системой управления, интерфейсом для дистанционного управления и возможностью интеграции в автоматизированную систему управления предприятия. Кроме того, в период до капитального ремонта для данной серии насосов не требуется техническое обслуживание.

image007.jpg

IXL 120

Достоинства:

- Максимальная скорость откачки среди подобных насосов (до 30% выше мировых аналогов на объемах 50 л);

- Минимальная занимаемая площадь - 0,1 м2;

- Минимальное энергопотребление в рабочем режиме - 0,55 КВт/ч;

- Автоматический переход в «спящий режим» при отсутствии нагрузки на входе с экономией 90% энергопотребления;

- Наилучшая производительность откачки по «легким газам» (водород, гелий);

- Два входных фланца с горизонтальным и вертикальным расположением для удобства проектирования форвакуумных магистралей;

- Техобслуживание не требуется - время непрерывной работы более 5 лет;

- Все типы общих интерфейсных подключений: Ethernet, Modbus, RS-232;

Специальные интерфейсы:

- подключение переносного пульта управления (PDT);

- интерфейс подключения к основному технологическому оборудованию (mTim);

- интерфейс связи со скруббером;

- интерфейс управления изолирующим затвором (24В);

- Возможность организации вертикальной стойки (до 4 насосов) без дополнительных затрат.

 

◘ GXS Dry Pumps - Сухие когтевые вакуумные насосы серии GXS


Насосы серии GXS – современные высокотехнологичные вакуумные насосы, с запатентованным винтовым механизмом. Линейка состоит из 10 насосов различных модификаций с диапазоном скоростей откачки от 44 до 958 л/с. Предельный вакуум этих насосов достигает 1х10-3 мбар.

Винтовые насосы с дополнительной ступенью Рутса в едином корпусе обеспечивают производительность от 1200 до 3450 м3/ч.

Насосы GXS – полностью готов к работе сразу же после доставки. Он оборудован панелью управления расположенной на корпусе, имеет возможность дистанционного управления, а также имеет ряд дополнительных опций, позволяющих сконфигурировать систему, полностью удовлетворяющую потребности заказчика.

Особенности серии GXS:

- Высокая надежность. По оценке сервисных инженеров, такие насосы уверенно работают даже при скоплении в рабочем объеме до 750 г пыли.

- Запатентованный винтовой механизм обеспечивает высокую скорость откачки и контроль температуры внутри насоса.

- Большой межсервисный интервал (до 5-ти лет).

- Легкость монтажа, позволяет снизить время простоя во время ремонта.

- Низкая стоимость обслуживания.

- Высокоэффективный двигатель и привод с улучшенным уплотнением существенно снижает потребляемую мощность насоса.

- Запатентованный дизайн роторов, это позволило сделать компактный, тихий насос.

- Насос максимально адаптирован для заказчика – необходимо просто подключить его к процессу, и насос можно запускать.

- Данная серия насосов комплектуется различными фильтрами, системами продувки, ловушками, глушителями. Это позволяет использовать насосы GXS на совершенно различных процессах.

 

Области применения:

- гелиоэнергетическая промышленность выращивание кремниевых кристаллов производство литий-ионных батарей;

- лиофильная сушка фармацевтика производство пищевых продуктов;

- стерилизация;

- нанесение покрытий облипание валка в прокатке алюминия, нанесение покрытия на ленту производство оптических линз, производство декоративных стекол;

- металлургия: термическая обработка, вакуумно-индукционная плавка, вакуум-дуговой переплав, литье, обжиг;

- поиск утечки;

- упаковка пищевой продукции;

- откачка вакуумных камер;

- зарядка баллонов чистым газом.

 

◘ Сухие винтовые насосы для химической промышленности сери CXS


Серия CXS - это самые современные химические сухие насосы от «Edwards» в конструкции которых применяются новые технологии - используется дискретный конический винтовой механизм с переменным шагом, который обеспечивает исключительную энергоэффективность и производительность. Кроме того, встроенный контроллер насоса, все элементы электронной системы управления насоса выделены в отдельный взрывобезопасный блок.

CXS это вакуумные насосы высокой надежности, работающие даже в самых сложных условиях химической и фармацевтической промышленности, выпускаются в двух модификациях: со скоростью откачки 160 м3/ч и 250 м3/ч.

Вакуумные насосы серии CXS имеют 5-летний межсервисный интервал и не требуют регулярного технического обслуживания. Минимальный срок их службы составляет 25 лет.

 

Особенности серии СXS:

- Высокая надежность при эксплуатации в самых жестких условиях;

- Запатентованный винтовой механизм, обеспечивающий высокую скорость откачки и контроль температуры внутри насоса;

- Широких спектр областей применения благодаря запатентованной конструкции и комплектации различными фильтрами, системами продувки, ловушками, глушителями;

- Блок управления насосом помещен во взрывобезопасную оболочку;

-Большой межсервисный интервал - до 5-ти лет.

Эксплуатационные характеристики насоса: насосы серии GXS компактные и тихие, легко монтируются, просты в обслуживании, легко интегрируются в производственный процесс.

 

◘ Gamma UHV Pumps - Гамма-вакуумные насосы

 

- Гамма-вакуумные насосы - технологии создания высокого вакуума и сверхвысокого вакуума. Область применения: от портативных масс-спектрометров до крупномасштабных ускорителей частиц. Они могут создать минимально возможный вакуум при экономичных затратах.

Edwards предлагает широкий спектр ионных насосов, титановых сублимационных насосов и не испаряемых геттерных насосов.

- Ионные Насосы. Ионные насосы, также известные как ионно-распыляющие насосы или ионно-геттерные насосы, являются насосами захвата, которые ионизируют газы с использованием анодно-катодной матрицы. Ионы распыляют реактивные катодные материалы, создавая химическую реакцию, которая превращает ионизированные газы в твердые соединения. Эти соединения больше не влияют на давление в вакуумной системе и постоянно улавливаются внутри ионного насоса. Ионные насосы могут создавать вакуум от 10-5 до 10-12 мбар.

- Титановые сублимационные насосы. TSP работают, нагревая титановую нить и сублимируя (превращаясь из твердой в газовую фазу) молекулы титана на поверхности. Сублимированные молекулы титана затем могут химически реагировать с химически активными газами, такими как кислород и азот, и диссоциировать и рассеивать водород. TSP могут работать от 10-5 до 10-12 мбар и иметь скорость откачки, превышающую 10000 л/с водорода.

 

image013.jpg

NEXT Turbo Pumps турбомолекулярные насосы с обслуживаемым нижним подшипником и верхним магнитным серии NEXT.

 

Турбомолекулярный насос nEXT85 является самой новой разработкой в семействе продукции Edwards и создавался, чтобы стать настоящим победителем в областях исследований и разработок, физики высоких энергий и аналитических приборов.

Маленький и мощный

Насос nEXT85 был создан на замену хорошо зарекомендовавшего себя EXT75DX, и имеет значительно улучшенные характеристики при уменьшенных габаритах. В дополнение к более высокой производительности nEXT85 обладает теми же сервисными и эксплуатационными характеристиками, что и более крупный nEXT, включая удобство обслуживания на месте и встроенный интеллект.

image014.jpg

◘ nXDS Scroll Pumps - форвакуумные спиральные насосы серий XDS и nXDS.


 

Edwards nXDS - это насос с наилучшими характеристиками в своем классе, обладающий исключительными возможностями перекачки, высочайшими вакуумными характеристиками и современными конструктивными особенностями.

 

nXDS улучшенная модель устаревших насов XDS, обладает повышенной скоростью перекачивания в сочетании с более низким предельным давлением, меньшим энергопотреблением и низким уровнем шума - до 20 раз тише, чем у других насосов. Газовый балласт позволяет откачивать конденсирующиеся пары, в том числе воду, растворители, разбавленные кислоты и основания.

Насосы nXDS предназначены для эксплуатации в полевых условиях. Его интеллектуальные функции управления и длительный интервал обслуживания (до пяти лет) обеспечивают низкую стоимость владения и широкую область их применения.

Особенности:

- Низкий уровень шума.

- Простота в управлении: интеллектуальные и простые в использовании элементы управления.

- Не загрязняет окружающую среду, нет масла для утилизации (без смазки), с герметичным разделением рабочей камеры и приводной части насоса с помощью сильфонного ввода. Эта конструкция вакуумного ввода запатентована компанией.

- Низкая стоимость владения: длительный интервал меж сервисного обслуживания и низкое энергопотребление.

- Высокая производительность, превосходная обработка паров: обеспечивает «без масляную откачку» до 7х10-3 мбар со скоростью действия от 1,7 до 26,4 л/с.

Регулируемое газобалластное устройство обеспечивает откачку конденсирующихся паров, расширяя технологические возможности насосов.

Эти спиральные насосы позволяют:

- обеспечить откачку и утилизацию редких, химически агрессивных и радиоактивных газов без их проникновения в окружающую среду, их потерь и нарушения экологии;

- исключить разбавление технологических газов атмосферными газами, что упрощает процесс их последующей очистки;

- предотвратить поступление в вакуумную систему паров масла из подшипников, и тем самым обеспечить «сухую» («безмасляную») откачку;

- устранить воздействие вакуума и откачиваемых агрессивных газов на подшипники и электродвигатель привода, тем самым увеличивая ресурс работы насоса;

- исключить попадание в смазку откачиваемых радиоактивных и химически агрессивных газов, что упрощает процесс замены ее и подшипников.

 

◘ STP Turbo Pumps - турбомолекулярные вакуумные насосы с ротором на магнитном подвесе серии STP.


Турбомолекулярные насосы серии STP с магнитным подвесом ротора представлены линейкой состоящей более чем из 20 насосов с быстротой действия от 300 до 4300 л/с и предельным разрежением до 10-10 мбар. Эти насосы имеют ряд модификаций, которые ориентированы как на откачку с повышенной быстротой действия, так и на достижение предельно низкого давления. Ряд насосов выполнен в химически стойком исполнении, что позволяет производить откачку химически агрессивных газов.

Уникальность этой серии насосов состоит в том, что их ротор не имеет традиционных подшипников, следовательно, и смазки тоже, что делает такие насосы абсолютно «сухими». Наличие магнитного подвеса ротора практически исключает вибрации насоса при работе. Кроме того, отсутствие подверженных износу подшипников, как правило, лимитирующих ресурс работы подобных устройств, существенно увеличивает время безотказной работы насоса и упрощает его обслуживание. Эти насосы незаменимы для современного технологического и аналитического оборудования.

Первые турбомолекулярные насосы STP Maglev были проданы в 1983 году, сейчас их установлено более 166 000 штук по всему миру, более 85 % из которых работает в современной полупроводниковой промышленности, где они демонстрируют исключительный уровень производительности и надежности.

Энергосберегающие технологии были применены в каждой фазе разработки насоса, чтобы обеспечить низкое энергопотребление и эффективность работы без ущерба для качества или производительности.

Особенности серии STP:

- Более быстрая откачка до базового давления.

- Компактный размер, экономит место и легко устанавливается.

- Низкое энергопотребление и низкая стоимость владения.

- Бесплатная техподдержка, экономный.

 

◘ iGX Dry Pumps - Вакуумные сухие насосы iGX

 

image019.jpgЛинейка сухих вакуумных насосов серии iGX включает в себя как насосы с интерфейсом MicroTIM, так и c Ethernet-шлюзом, позволяющие просматривать ключевые данные на веб-страницах, а также полный набор сетевых опций для обеспечения доступа к насосу в режиме on-line.

   

◘ iH Dry Vacuum Pumps - сухие вакуумные насосы iH

 

Сухие насосы серии iH представляют собой высоконадежные, недорогие насосы для сложных процессов, в средах в которых присутствуют твердые частицы, конденсаты и среды с едкими побочными продуктами. Насосы серия iH оснащена пятиступенчатым базовым насосом с инновационной консольной конструкцией ротора, когтя и коренной опоры, которая улучшает работу с пылью и снижает уровень шума откачиваемых газов.

Кроме того, насосы серии iH оснащены одноступенчатым механическим бустерным насосом и полностью закрытыми двигателями с водяным охлаждением.

 

image018.jpg

◘ ES Pumps - пластинчато-роторные насосы с масляным уплотнением серии ES.

http://www.edwardsvacuum.com/europe/es/en/tech.htm

image020.jpg

Серия ES – это пластинчато-роторные насосы с масляным уплотнением, которые обладают высокой скоростью откачки в диапазоне от 60 до 630 м3/ч и обеспечивают вакуум глубже 0.2 мбар и являются надежным экономичным решением в широком спектре промышленных и научных сфер.

 

Насосы серии ES имеют низкий уровень шума и вибрации, хорошую стойкость к парам воды, способность продолжительной работы при любых давлениях, от атмосферного до предельного вакуума.

Насосы ES могут применяться как отдельно, так и в качестве форвакуумных с механическими бустерами EH для увеличения производительности и достижения предельного вакуума.

Стандартная комплектация насоса включает:

- Воздушное охлаждение;

- Прямой привод через муфту;

- Масляный фильтр с высоким КПД;

- Встроенный подпружиненный обратный клапан на входе для предотвращения обратного потока;

- Встроенный фильтр масляного тумана на выхлопе;

- Встроенная система возврата масла в насос из фильтра масляного тумана;

- Гидрозатвор на выхлопе для лучшего вакуума и тихой работы;

- Газобалластный клапан;

- Мелкоячеистый фильтр на входе;

- Универсальный вход и выход с присоединением ISO и внутренней резьбой BSP.

Области применения:

- Металлургическая промышленность;

- Вакуумные печи;

- Упаковка пищевой продукции;

- Вакуумное нанесение покрытий;

- Вакуумная транспортировка;

- Автомобильная промышленность;

- Горячее формование.


Сделать запрос на продукцию Edwards

Заявка принята!

Мы Вам перезвоним

Сопутствующие товары у КИП-Рэй

Вы также можете найти интересующую вас продукцию на официальном сайте Edwards. Всё оборудование предлагаемое производителем доступно для заказа.

Что такое КИП-Рэй?

КИП-Рэй поставляет любую продукцию для промышленной автоматизации, доступную в настоящее время у ведущих производителей. Это универсальный интернет-портал, для приобретения широкого спектра оборудования и вспомогательной технической продукции.

Спроси у нас
и Рэй найдёт для вас
любой Device!

Возврат к списку



Ответим На Ваши Вопросы

Позвоните по телефону
Понедельник - Пятница:
с 09.00 до 19.00